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混乱的平晶测平面度

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论坛元老

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发表于 2018-11-17 11:50:45 | 显示全部楼层 |阅读模式
本帖最后由 15点 于 2018-11-19 09:22 编辑


“圣经”上说,用平晶检查工件平面度时,不考虑各类公式的情况下,单色光在工件和平晶之间的空气楔中行走的距离是半波长的整数倍时变回出现干涉条纹-等厚干涉
根据干涉条纹计算平面度的公式为
△e=a/b×λ/2
式中a是干涉条纹的弯曲量,b是两相邻干涉条纹间距,λ波长一般按0.54μm计算


请各位大侠指正

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 楼主| 发表于 2018-11-17 11:52:31 | 显示全部楼层
后边的四张图片搞错了。。。
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