XYZ压电定位台可实现优异的3D定位精度

寂静回声

艾罗德克运动控制技术有限公司（Aerotech）QNP3系列XYZ压电定位台是一款结合了亚纳米级分辨率、高动态特性和出色的几何性能的紧凑型三自由度（DoF）定位系统。它们拥有40mmx 40mm的透明孔径，闭环行程可达100μmx 100μmx 10μm（开环行程为120μmx 120μmx 12μm ）。该设计是光学和扫描探针显微镜或其他检测或制造应用的理想选择，其中双面部件需使用三自由度进行操作。



精密平行运动学设计

QNP3压电定位台使用优化的FEA精密平行运动学挠曲和计量设计，以确保优异的多轴精度，以及高刚度和较长的设备使用寿命。高刚度和谐振频率还可带来更高的加工能力和更快的闭环响应时间。

正在申请专利的这款驱动设计可以最大限度地减少X和Y轴的偏航误差，同时拥有符合阿贝原理的计量系统。这一设计在整个XY轴行程空间中产生了优异的定位性能。其Z轴致动器和电容传感器专为垂直方向提供几何误差最小，以及符合阿贝原理的反馈而设计。

亚纳米级性能

QNP3定位台拥有闭环或开环反馈。独特的电容传感器与计量并联的设计可直接测量定位托架的输出，同时拥有亚纳米级分辨率，线性误差优于0.01%，还具有个位数的纳米重复性。

超精密控制

当与Aerotech公司Q系列控制器和驱动器结合时，QNP3定位台展示了其亚纳米级定位分辨率和内部定位稳定（抖动）的特性，同时保持较高的定位带宽。它还拥有高级软件选项，如动态控制工具箱和运动设计器，可提供各种高效且易于使用的工具，包括迭代学习控制，谐波消除和命令成形功能，从而提供更佳的错误跟踪功能和更快的步骤和定位时间。还可使用OEM驱动器选项。

设计选项

可选的安装板可直接安装到英制或公制线路板光学平台上，还可提供实体平台。QNP3压电定位台还可根据要求定制材料和真空制版。