研发光刻机涉及到哪些学科

寂静回声

他mb尚未认识到问题的复杂性，就以光刻机的研发为例。
研发光刻机是一项高度综合性的技术挑战，涉及到多个学科的知识。光刻机的核心在于利用光学原理将掩模上的图案精确转移到硅片上，因此需要深入理解几何光学、波动光学、物理光学以及光的波粒二象性等，同时掌握先进的光学系统设计、光源技术（如DUV、EUV光源）和光束控制技术。
涉及到基础物理学原理，如量子力学、电磁学，对于理解光与物质的相互作用、光的衍射与干涉现象至关重要。
涉及到光刻胶、掩模材料、光学元件材料、特殊涂层材料的研究与应用，以及这些材料在极端条件下的性能和稳定性。
涉及到开发和优化光刻胶、显影剂、蚀刻剂等化学品，以及清洗和表面处理技术，确保良好的图案转移效果。

包括精密机械设计、精密加工与装配技术、动态平衡与振动控制、精密运动控制系统等，确保光刻机内部的精密元件能够稳定、准确地移动和定位。

涵盖电子电路设计、自动化控制、传感器技术、信号处理与分析、电力电子及驱动技术等，用于控制光刻过程中的各项参数和整个系统的协调运作。

涉及到算法开发、模拟仿真、自动对准与校正软件、机器视觉系统、数据处理与分析等，提高光刻精度和效率。

理解和应用微电子制造的原理和技术，包括半导体器件物理、集成电路设计基础等。

涉及到管理光刻机内部复杂的热量分布和气流控制，保持设备的热稳定性和洁净度。

这些学科的交叉融合对于推动光刻技术的进步、提升光刻机的性能和精度至关重要。

拉斯特

我前同事的儿子，现在在ASML，他有个同事居然是设计哈勃望远镜的，俄罗斯裔; 极紫色光刻机，天朝绝无可能做的出来；