超小零件圆弧检测

寂静回声

问







答


已知设计参数：圆弧半径 R=0.8~1mm，圆弧长度 L=0.14~0.16mm
圆心角极小：由弧长公式 L=R・α（α 为圆心角，弧度），可得圆心角仅约 8°~11.5°，圆弧极度接近直线。
圆弧矢高（弦高）仅微米级：圆弧自身的轮廓起伏高度（弦到圆弧顶点的距离仅约 3μm 左右，属于亚微米级的微小起伏。
在此前提下，0.025mm（25μm）针尖的轮廓仪失效原因有二：
测针半径远大于圆弧矢高，测针球面的包络轨迹会彻底抹平微米级的圆弧起伏，采集到的轮廓点近乎直线，无法提取有效圆弧特征；
圆心角小于 15° 时，圆弧与直线的偏差极小，测量噪声、采样步长误差会被急剧放大，最小二乘拟合的半径结果会严重偏离真实值，甚至直接拟合为直线（半径无穷大），表现为 “检测不到圆弧”。


白光干涉仪垂直分辨率0.1nm 级，激光共聚焦轮廓仪垂直分辨率1nm 级。